真空爐的真空係統的三個基本要求;

1)能迅速（sù）地將真空熱處理（lǐ）爐（lú）的真空度抽（chōu）到規定的要求。

2)能及時排出（chū）被（bèi）處理工件和爐（lú）內構件所釋（shì）放出的各種氣體，以及因

真空泄漏而滲入爐體內的氣體（tǐ）。

3)真空機組占地麵積小，運行安全可靠，操作（zuò）簡便。

真空係統的組成

真（zhēn）空爐的真空係統通常（cháng）由真空獲得設備(真空泵機組)、控

製真空組件和測量真空組件所組成。

1)真空泵機組。根（gēn）據（jù）爐子（zǐ）工作壓力和抽氣量的大小，分別選配不同

的低真空泵、中（zhōng）真空泵、高（gāo）真空泵和超高真空泵。

2)真（zhēn）空組件或（huò）元件。在真空爐體和真空泵機組之（zhī）間配備的各（gè）種（zhǒng）真（zhēn）空

組件或直字元件，如管路、密封（fēng）圈、法蘭、波紋（wén）管、冷阱、過濾器和

閥門等。

3)真空測量係統，如真空規管（guǎn）、真空壓（yā）力表和其他真空測量儀表。

4)真空檢漏儀器、真空（kōng）控製（zhì）儀器（qì）、充氣裝置等（děng）。