高溫電爐真空係統

高溫電爐中直（zhí）空係統適（shì）用幹真空度在3X10~~1333Pa範圍的真空熱處

理爐。中真空係統在（zài）真空熱處理爐（lú）中應用最廣泛，其通常由（yóu）兩級真空

泵機組組成。初（chū）級泵多采用（yòng）旋轉機械泵（bèng）或滑（huá）閥式機械泵（bèng），主（zhǔ）泵為機械

增壓泵（bèng）(羅茨泵)或油增壓泵

高溫電爐高真空係統

高真空（kōng）係統適用於真空度（dù）在6.6x10~~1333X10。Pa範圍的

高溫電爐真空熱處理爐，如真空退火爐（lú）、真空釺焊爐，通常由三級真空泵機組

組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉機

械（xiè）泵或滑（huá）閥式機械泵。